氦氣與氫氣一樣是難以被活性炭吸附的氣體，因此，氦氣的精制也是用活性炭從原料氣體中吸附氦氣以外的氣體后，把未吸附的氣體作為產品收集起來。氦氣是稀有氣體，價格很貴，氦氣精制主要應用于吸附除去氦氣在循環使用過程中以雜質形態而混入的空氣，提高再次循環使用的純度。通常在原氣體中的空氣含量為5%~10%，用壓力回轉吸附裝置將空氣含量降低到10*10-6以下，吸附槽至少有2個，吸附周期為5min，由于要避開高壓氣體管理法，吸附壓力多數小于10kg/c㎡。